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2019年6月24日晚间，万业企业（600641）发布了一份重磅公告，宣布公司与中国科学院微电子研究所以及国家集成电路产业基金旗下的芯鑫融资租赁签订合作备忘录，公司将发起并设立集成电路装备集团。有业内人士称，这将是我国目前产业链最为齐全的集成电路装备集团。

集聚国内众多集成电路装备公司入股

经了解，新成立的装备集团总投资额达15亿元，其中万业企业与微电子所拟共同出资8亿元，芯鑫租赁为装备集团提供意向性融资额度5亿元。根据组建方案，万业企业与微电子所拟以各自持有的集成电路装备类公司股权作价入股，拟入股的装备公司都是国内集成电路装备领域不同关键设备的领先公司。通过细分领域优质公司的集聚，装备集团将拥有目前集成电路装备领域最齐全的产业链。

那么，万业企业与微电子所将会以哪些集成电路装备类公司入股呢？

作为装备集团的重要参与方，中科院微电子所自诞生起就是中国半导体与集成电路事业的开创者与开拓者。经过五十多年的发展，中国科学院微电子研究所已经成为国内微电子领域学科方向布局最完整的综合研究与开发机构，也是国家科技重大专项集成电路装备及工艺前瞻性研发牵头组织单位。

截至目前，微电子所旗下拥有2个基础研究类中国科学院重点实验室（微电子重点实验室、硅器件重点实验室），4个行业服务类研发中心（中国科学院EDA中心、先导中心、封装中心、存储器中心），8个行业应用类研发中心（通信中心、汽车电子中心、健康电子中心、智能感知中心、智能制造中心、电子系统中心、光电研发部、电磁信息应用中心），3个核心产品类研发中心（硅器件中心、高频高压中心、设备中心）。可以说，中科院微电子所是我国集成电路产业最为关键的设备技术的顶级机构，也是国家集成电路制造和装备的技术总师和02专项的主要指导单位，扶持了中芯国际、长江存储、中微半导体等国家重点布局企业。

与此同时，中科院微电子所旗下拥有的众多集成电路装备领域优质企业，全部都是承担国家02专项的关键装备头部公司。如提供电子束图像检测与制程优化系统的中科晶源；提供单片晶圆表面湿处理设备、微量化学污染检测服务的无锡华瑛；提供集成电路光学检测设备且已取得国内顶级芯片制造厂商批量订单的中科飞测；提供中高端集成电路测试设备且年装机数量呈爆发增长的上海御渡，提供磁存储器刻蚀机、ICP-CVD、金属刻蚀机等的鲁汶仪器等。

虽然此次公告未说明双方具体的入股标的，但随着众多集成电路装备类公司尤其是参与国家02专项的头部公司的入股，装备集团将形成全产业链布局的领先优势。在平台集聚作用下，资源整合及优势互补作用凸显。作为牵头方的万业企业已然占据集成电路装备产业的高起点，未来或将发展成为集成电路装备产业的标杆企业。

除此之外，作为合作方的芯鑫租赁，将利用其在集成电路装备融资租赁领域的专业优势和业务网络，与装备集团形成战略性合作伙伴关系。据悉，芯鑫租赁是由国家大基金牵头，联合龙头企业共同设立的一家专注于集成电路行业融资租赁公司。

万业企业再发力提升国产设备自给率

对于组建装备集团的牵头方万业企业，去年年底刚完成对集成电路优质标的凯世通的收购，从而切入了集成电路核心装备产业之一的离子注入机领域。值得一提的是，万业企业收购凯世通等一系列炫目的资本创新举措，还赢得了界面“年度资本创新”与“年度价值企业”两项殊荣。

此次万业公告中还透露，合作各方将指定人员成立筹备组，选举筹备组组长和副组长，并会积极与地方政府接触沟通，从而选择装备集团的落户地点，而所涉及的其他前期工作将在今年年底之前完成筹备工作。集团正式落地后，势必对当地集成电路产业链的完整及成熟形成重要的支撑，进而聚集为全国集成电路设备材料产业基地。

根据SEMI统计数据，2017年全球半导体设备支出达到570亿美元，较上半年的预测金额增加20.7%，同比增长达38%，主要动能来自存储器与晶圆代工增加投资，2018年支出预估也从500亿美元上修至630亿美元，可望连续2年创新高纪录。2017-2020年间，全球将有62座新建晶圆厂投入营运。62座晶圆厂中，7座是用于研发的晶圆厂，其余55晶圆厂都将用于量产。以地理区来看，中国大陆将有26座新的晶圆厂投入建设与营运，占新增晶圆厂的比重高达42%，将直接带动大陆近3年设备支出的大幅成长。虽然我国已经成为全球第二大半导体设备市场，仅次于韩国，下游市场对半导体设备需求也极度旺盛，但是国产设备的自给率程度却很低。2018年我国半导体设备进口金额为112.3亿美元，国产设备产值15.9亿美元，自给率仅为12%。而装备集团的建立，根据初步预估有望在3年内累计销售收入超过20亿元，完成国产设备自给率提高至20%以上。

顺势打造一个提供自主可控设备的设备集团

随着中美贸易摩擦日益深化，“中兴、华为事件”突显了我国集成电路核心技术、产品及零部件缺失的掣肘影响，亟需在自主创新方面实现新的突破。此次多方战略合作可以看作是对以市场主体为核心的自主创新模式的探索，这一模式不同于以往以技术研发为主的自主创新模式，重点在于关键产品的市场化和产业化，这也是我国集成电路装备领域长期难以突破的瓶颈。

此次合作的中科院微电子所是国内领先的集成电路技术研究机构，其研发的技术和产品一般都具有重要的战略意义，得到国家层面政策支持；万业企业拥有资本市场的融资和整合优势，作为中科院微电子所科技成果转化的承载平台，有利于合作企业做大做强，形成规模优势；芯鑫租赁依托国家大基金，拥有广泛的产业资源，为市场化主体对接所需的发展资源，帮助市场化主体获取竞争优势，在关键领域打破国际垄断。

万业企业通过这一集聚多方力量的自主创新模式，有望抓住我国集成电路关键设备国产化的历史性机遇，顺势打造一个能够提供自主可控设备的设备集团。

肩负国家使命和重任，2015年11月由董事长朱旭东领导的浦科投资（曾成功投资了先进半导体和澜起科技等知名IC企业）成为万业企业的大股东之后，公司开始确定转型，并投入事关国家战略的集成电路行业；2016年提出未来五年战略发展规划，力争成为“一家在国内外具有一定竞争力、具备新兴产业基因的上市公司”；2017年7月，以10亿元认购首期上海半导体装备材料产业基金20%份额，该基金作为上海500亿元集成电路产业基金的组成部分，由国家集成电路产业基金、上海临港芯成投资公司、上海国盛集团等单位共同出资组建。2018年7月，国家集成电路产业投资基金以6.77亿元收购公司7%股权，成为万业第三大股东；2018年12月，万业完成对半导体设备企业凯世通的收购。至此， 万业的三大股东分别为浦科投资（28.16%）、三林万业（13.53%）、国家集成电路产投基金（7%）。这也意味着完成了从国家到上海地方的资源整合和力量集结，并蓄势待发向集成电路行业转型。

此次集成电路装备集团的成立，不仅推动集成电路装备产业“科研、金融、产业”的融合，也将会对标世界装备龙头企业，在中国打造出世界一流的自主品牌，促进集成电路装备的国产替代水平的提升，对长期掣肘中国集成电路的装备产业链发展及成熟具有现实意义。

来源：SMT技术网